檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Zone-Ching Lin".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="半高線寬"
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本研究的目的在於探討光阻層上蒸鍍一層金屬層之近場光學微影點加工的技術,藉由光學模擬分析金屬層之特性,並且以定性分析來證明此技術能有效地縮小光阻層上得記號寬度與半高寬。 此技術是將一層薄薄(約…
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本文主要的研究目的在探討近場光學微影加工製程及非破壞方法逆解光纖探針口徑之相關研究。首先對光纖探針近場的分析,本文以近區輻射場理論做為分析光纖探針近場之理論模式,分析探討裸光纖探針及鍍鋁層探針的近場…